• 需求分析：确定产品相关参数（如晶圆尺寸、工艺节点）、产能目标、洁净度等级（ISO 1-5级），以及特殊环境要求（温湿度控制、防微振、防静电、电磁屏蔽等）。
• 选址评估：综合考量地质条件、交通便利性、基础设施配套（电力、超纯水、气体供应、废水处理能力）、环境风险、扩展空间及政策法规等因素。
• 可行性研究：从技术可行性、经济性（投资估算、回报周期）、风险评估等方面进行分析，判断项目是否具备实施条件。
• 项目团队组建：集结业主、项目管理公司、设计院（涵盖建筑、工艺、机电、洁净等专业）、专业顾问（洁净室、微振动、EMC等领域）及未来运营团队代表。
• 概念设计：完成初步总平布局、建筑形态规划、核心工艺流程布局、主要机电系统框架设计及洁净室分区概念规划。
• 制定项目主计划：明确项目目标、关键里程碑、预算框架及关键路径。 [原文链接]
