ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um～5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。
根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
空气洁净度分级标准： ISO14644-1 （国际标准）
|
空气洁净度等级（N） |
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子） |
|||||
|
0.1 um |
0.2 um |
0.3 um |
0.5um |
1um |
5 um |
|
|
ISO Class 1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
|
ISO Class 2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
||
|
ISO Class 3 |
1 000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
|
ISO Class 4 |
10 000 |
2 370 |
1 020 |
352 |
83 |
|
|
ISO Class 5 |
100 000 |
23 700 |
10 200 |
3 520 |
832 |
29 |
|
ISO Class 6 |
1 000 000 |
237 000 |
102 000 |
35 200 |
8 320 |
293 |
|
ISO Class 7 |
|
352 000 |
83 200 |
2 930 |
||
|
ISO Class 8 |
|
3 520 000 |
832 000 |
29 300 |
||
|
ISO Class 9 |
|
35 200 000 |
8 320 000 |
293 000 |
||
|
注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。 |
||||||
空气洁净度分级标准： GB/T16292-1996 （中国标准）
|
粒径、数值洁净度级别 |
尘埃最大允许数/立方米 |
微生物最大允许数 |
||
|
≥0.5um |
≥5um |
浮游菌/立方米 |
沉降菌/皿 |
|
|
100 级 |
3,500 |
0 |
5 |
1 |
|
10,000 级 |
350,000 |
2,000 |
100 |
3 |
|
100,000 级 |
3,500,000 |
20,000 |
500 |
10 |
|
300,000 级 |
10,500,000 |
60,000 |
— |
15 |
美国联邦标准 209D 洁净室分级：（已停用）
|
空气洁净度等级（N） |
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子） |
||||
|
0.1 um |
0.2 um |
0.3 um |
0.5um |
5 um |
|
|
1 |
35 |
7.5 |
3 |
1 |
|
|
10 |
350 |
75 |
30 |
10 |
|
|
100 |
|
750 |
300 |
100 |
|
|
1000 |
|
|
|
1000 |
7 |
|
10000 |
|
|
|
10000 |
70 |
|
100000 |
10000 |
700 |
|||
英国 5295 标准洁净室和空气净化装置分级：
|
空气洁净度等级（N） |
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子） |
||||
|
0.3um |
0.5um |
5um |
10um |
25 um |
|
|
C |
100 |
35 |
0 |
|
|
|
D |
1000 |
350 |
0 |
||
|
E |
10000 |
3500 |
0 |
||
|
F |
|
3500 |
0 |
||
|
G |
100000 |
35000 |
200 |
0 |
|
|
H |
|
35000 |
200 |
0 |
|
|
J |
|
350000 |
2000 |
450 |
0 |
|
K |
|
3500000 |
20000 |
4500 |
500 |
|
L |
|
|
200000 |
45000 |
5000 |
|
M |
|
450000 |
50000 |
||
各种国际标准的比较：
|
美国联邦 |
美国联邦 |
英国标准 |
澳大利亚标准 |
法国标准 |
德国标准 |
国际标准 |
日本标准 |
|
标准 209D |
标准 209E |
BS5295 |
AS1386 |
AFNORX44101 |
VDI2083 |
14644-1 |
JACA24 |
|
|
|
|
|
|
|
1 |
1 |
|
|
|
|
|
— |
0 |
2 |
2 |
|
1 |
M1.5 |
C |
0.035 |
— |
1 |
3 |
3 |
|
10 |
M2.5 |
D |
0.35 |
— |
2 |
4 |
4 |
|
100 |
M3.5 |
E |
3.5 |
4000 |
3 |
5 |
5 |
|
1000 |
M4.5 |
G |
35 |
— |
4 |
6 |
6 |
|
10000 |
M5.5 |
J |
350 |
400000 |
5 |
7 |
7 |
|
100000 |
M6.5 |
K |
3500 |
4000000 |
6 |
8 |
8 |
|
|
|
M |
|
|
7 |
9 |
— |
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